電子・科学・計測機器専門販売商社

・X線照射面積
汎用型のXRFにおいては通常コリメーターにより1㎜〜30㎜の照射幅にて測定を行いますが、μXRF
は1㎜以下のビームを選べることを可能としている装置になります。M4Tornadoはポリキャピラリー
の採用により、20μmと200μmの切り替えで測定が可能です。このX線ビーム径により特に異物分析な
どに効果を発揮します。SEM/EDSとよく比較されますが、一番の違いではX線の侵入深さが電子線励起
と違うために、遷移元素からは高感度分析が可能になります。
・元素範囲
唯一μXRFの中でCからの分析が可能な装置になります。他社製品はNaからの分析装置です。
新開発の軽元素対応マイクロフォーカスRh管球と大口径60㎜のSDD（シリコンドリフト検出器）により、
通常の装置の10倍の感度を得ることができました。Cから分析が可能になり、あらゆる分野でのア
プリケーションが広がりました。
・測定範囲
試料室は300㎜以上のサンプルを装填することが可能であり、一度にマッピングがとれる範囲としては、
190㎜X160㎜になります。サンプルを壊すことなく、試料台に装填し、2か所のCCDカメラにて測定位
置を特定し、ポイント測定、ライン測定、マッピング測定を行います。
・新開発マイクロプロセッサー
M4TornadoPlusには新開発の6,000,000CPSまで数えられるマイクロプロセッサーが付いております。こ
の新開発の製品により、デッドタイムを抑え、測定時間を大幅に短縮することに成功しました。
・アパーチャーマネージメントシステムの追加機能
AMS(アパーチャーマネージメントシステム）により、凹凸の激しいサンプルにおいても、±5.0㎜にお
いて安定したフォーカス測定を実現することができました。
・ソフトウエア
バルク用FPソフトウエアに加え、薄膜材料に特化しましたFP法のソフトウエアを用意しております。
定評あるブルカー社のソフトウエアには標準でデコンボリューションの重なり補正の機能も備えており
ます。