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【概要・特長】
・測定原理は、基準面にオプチカルフラットを用いるフィゾー干渉計であり、一面を基準面として、これに対する被測定面の平面度を検査します。
・干渉縞は波長を λ とすると、鏡面間が 2m λ/4 の時に明るく、（2m+1） λ/4 の時に暗くなるので、 λ/4 毎に明・暗として現れます 。（但しm は正の整数）
・即ち、相隣る縞は相対的に λ/2 の変位をもちます。従って、正しい平面の試料であれば干渉縞は直線になります。
・もし、干渉縞が歪曲していれば、相隣る干渉縞の曲がり量（縞の振れ量）の比により、平面度を光の波長単位で高精度に測定することができます。
・次に、透明な平行平面試料を置けば試料の両面で干渉縞を生じ、この干渉縞の本数により、平行度の評価を行うことができます。
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メーカーPRポイント

・オプションとして、画像解析システム、特殊試料ステージ、除振台、搬送機 などの選択が可能 です。